แก็สซอฟท์ไนไตรดิ้ง เป็นกระบวนการทางเคมีที่ใช้ความร้อนเข้ามาเกี่ยวข้องด้วย โดยการแพร่ซึมทั้งอะตอมไนโตรเจน และคาร์บอนเข้าไปที่ผิวของเหล็ก เกิดเป็นชั้นสารประกอบที่มีความแข็ง ทนต่อการสึกหรอ เทคนิคนี้เหมาะกับวัสดุคาร์บอนต่ำไปถึงเหล็กอัลลอยด์
แก็สซอฟท์ไนไตรดิ้ง เป็นกระบวนการชุบผิวแข็ง หรือเป็นที่รู้จักในนาม กระบวนการแก็สเฟอริติคไนโตรคาร์บูไรซิ่ง ซึ่งเป็นกระบวนการเติมอะตอมไนโตรเจนและคาร์บอนเข้าสู่ผิวเหล็กที่ช่วงอุณหภูมิประมาณ 540-590°C ซึ่งอุณหภูมิช่วงนี้การแพร่ซึมของไนโตรเจนจะดีกว่าคาร์บอน เมื่อเปรียบเทียบกับกระบวนการคาร์โบไนไตรดิ้ง เนื่องจากกระบวนการแก็สซอฟท์ไนไตรดิ้งไม่จำเป็นต้องทำให้เหล็กเปลี่ยนโครงสร้างเป็นออสเทนไนต์ก่อน แล้วค่อยเปลี่ยนมาเป็นโครงสร้างมาเทนไซด์ด้วยการเย็นตัวอย่างรวดเร็ว จึงทำให้ชิ้นงานไม่เกิดการเสียรูป และสามารถควบคุมรูปทรงได้เป็นอย่างดี
กระบวนการนี้จะทำให้เกิดชั้นสารประกอบที่มีความแข็งสูงและทนต่อการสึกหรอ ชั้นความลึกที่ได้ขึ้นอยู่กับความเข้มข้นและชนิดของธาตุที่ผสมอยู่ในเนื้อวัสดุ โดยหลักทั่วไป ถ้ามีส่วนผสมอัลลอยด์ เช่น โครเมี่ยม โมลิดินัม จะทำให้ผิวไนไตรที่ได้มีความแข็งสูงกว่า เทคนิคนี้เหมาะกับวัสดุคาร์บอนต่ำไปถึงเหล็กอัลลอยด์